לתעשיית המוליכים למחצה יש כמה מהיישומים התובעניים ביותר בבקרת תנועה. שילוב של דיוק ודיוק קיצוניים בשילוב עם תפוקה גבוהה, יוצר טכנולוגיה מרגשת.
טיפול / העברה של ופל
יש להעביר וופלים במהירות ובעדינות מתהליך לתהליך. רובוטים לטיפול בפרוסים המופעלים באמצעות סרוו הם השיטה הסטנדרטית. רובוטים נמצאים בדרך כלל בתצורת SCARA (זרוע רובוט מפרקית תואמת סלקטיבית) שבה סרוו יכול לשלוט בכל הצירים כולל כתף, מרפק ופרק כף היד. ADVANCED כונני סרוו של Motion Controls מציעים מבחר רחב של יכולות כוח לשליטה בכל ציר בתנועה מתואמת.
FOUP טיפול / הובלה
הקופסה שמחזיקה את הוופלים נקראת "FOUP" (Front Opening Unified Pod). FOUP מלא פרוסות הוא מטען יקר ולכן יש לטפל בו בזהירות רבה ביותר. כונני סרוו של AMC מסתמכים על הובלת החבילות החשובות הללו. ביישומי הובלה שימוש בכונני סרוו בעלי ביצועים גבוהים מפחית משקל ומגביר את היעילות.
חדר פתיחה / סגירה
יש לפתוח ולסגור את דלתות החדר כדי לאטום חומרי תהליך עבור שלבים שונים לאורך תהליכי הייצור של מוליכים למחצה הקדמיים. כונני סרוו מספקים את הכוח והדיוק הדרושים ליצירת אטמים אמינים וכן מספקים משוב כדי לאפשר למערכת לנטר את המיקום לאורך כל הפעולה.
ספין שטיפה יבשה
בדיוק כמו שזה נשמע. הוופל מועלה למהירות בצורה מאוד מבוקרת. לאחר ספינינג, מים דה-יונים מרוססים באופן שווה על הפרוסה כדי לשטוף את הכימיקלים ששימשו בתהליך הקודם. לאחר מכן ייבוש צנטריפוגלי וחנקן מחומם משתלבים כדי להסיר מים ולחות סמויה.
הכנת משטח
כולל הסרת פוטו-רזיסט, ניקוי לאחר CMP, ניקוי ליטוגרפיה לפני צילום, הסרת פולימרים, ניקוי טרום-אפי, טרום-הפקדה, רצועת פוטו-רזיסט ועוד תהליכי ייצור של מוליכים למחצה קדמיים דומים. כונני סרוו של AMC עומדים במשימה.
שקיעת אדים כימית (CVD)
CVD משמש לציפוי כל דבר, החל מכוסות כהות ועד שקיות תפוחי אדמה. בייצור מוליכים למחצה, תהליך זה משמש ליישם שכבות דקות של חומר שיפעלו כמוליכים, מוליכים למחצה או מבודדים על הפרוסה. שימוש בלחץ כימי נמוך או (LPCVD) הוא נפוץ יותר מכיוון שהוא מייצר עובי אחיד יותר ומונע תגובות לא רצויות. ניתן להשתמש בכונני סרוו כדי להכניס ולחלץ את סירת הפרוסים מהתא, לפתוח ולסגור את דלת החדר ולהוסיף או להסיר פרוסות מהסירה.
מישור מכני כימי (CMP)
תהליך שוחק המשמש להברקת פני השטח של הוופל שטוח. זה כרוך בשימוש בתרחיפים כימיים ובפעולה מעגלית (שיוף) כדי להבריק את פני השטח של הפרוסה חלקה. CMP יוצר את המשטח השטוח והחלק הנחוץ להכנת הפרוסה לשלבים עוקבים בתהליך הייצור. CMP נדרש מספר פעמים במהלך תהליך ייצור המוליכים למחצה הקדמיים.
תהליך זה דורש שליטה על מהירות וכוח ללא רטט ומדויקת ללא אדוות מהירות. לכונני סרוו של AMC יש את כלי הכוונון הנכונים ואלגוריתמי הבקרה כדי לבצע את הכוונון במהירות כדי שתוכל להמשיך הלאה עם העיצוב שלך.
סטפר
במהלך הפוטוליתוגרפיה, אור לייזר מועבר דרך הרשתית המכילה את התמונה של מת אחד או יותר. לאחר מכן, התמונה מוקרנת על גבי הוופל. מכיוון שכל הפרוסה אינה מטופלת בו-זמנית, יש להזיז את הפרוסה כדי שהקובייה הבאה תוכל לקבל את התמונה. המכונה המשמשת לעשות את כל זה נקראת "סטפר" מכיוון שהיא עושה קובייה אחת או כמה קוביות בכל פעם, ואז עוברת לקובייה הבאה או לסט הבאות עד שהיא חושפת את כל הפרוסה.
