Yarı iletken endüstrisi, hareket kontrolünde en zorlu uygulamalardan bazılarına sahiptir. Aşırı doğruluk ve hassasiyetin yüksek verimle birleşimi heyecan verici bir teknoloji ortaya çıkarmaktadır.
Gofret Taşıma / Transfer
Gofretlerin işlemden işleme hızlı ve nazik bir şekilde aktarılması gerekir. Servolarla çalışan Wafer taşıma robotları standart yöntemdir. Robotlar tipik olarak servoların omuz, dirsek ve bilek dahil tüm eksenleri kontrol edebildiği bir SCARA (Seçici Uyumlu Mafsallı Robot Kolu) konfigürasyonundadır. ADVANCED Motion Controls servo sürücüler, herhangi bir ekseni koordineli hareketle kontrol etmek için geniş bir güç kapasitesi yelpazesi sunar.
FOUP Elleçleme / Taşıma
Gofretleri tutan kutuya "FOUP" (Front Opening Unified Pod) adı verilir. Gofretlerle dolu bir FOUP pahalı bir yüktür, bu nedenle büyük bir dikkatle kullanılmalıdır. Bu önemli paketlerin taşınması için AMC servo sürücülerine güvenilmektedir. Taşıma uygulamalarında yüksek performanslı servo sürücülerin kullanılması ağırlığı azaltır ve verimliliği artırır.
Oda Açık / Kapalı
Ön uç yarı iletken üretim süreçleri boyunca çeşitli adımlarda proses malzemelerinin sızdırmazlığını sağlamak için hazne kapılarının açılması ve kapatılması gerekir. Servo sürücüler, güvenilir contalar oluşturmak için gereken gücü ve hassasiyeti sağlamanın yanı sıra sistemin operasyon boyunca konumu izlemesine olanak tanıyan geri bildirim sağlar.
Sıkma Durulama Kuru
Tıpkı göründüğü gibi. Gofret çok kontrollü bir şekilde hızlandırılır. Döndürüldükten sonra, önceki işlemde kullanılan kimyasalları durulamak için gofretin üzerine eşit miktarda iyonu giderilmiş su püskürtülür. Ardından santrifüjlü kurutma ve ısıtılmış nitrojen birleşerek suyu ve gizli nemi giderir.
Yüzey Hazırlığı
Fotorezistin çıkarılması, Post-CMP temizliği, Ön-Foto Litografi temizliği, Polimer Çıkarma, Ön-Epi temizliği, Ön-Depozisyon, Fotorezist Şeridi ve diğer benzer ön uç yarı iletken üretim süreçleri dahil. AMC servo sürücüler bu görev için hazırdır.
Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD)
CVD, renkli camlardan patates çipi torbalarına kadar her şeyi kaplamak için kullanılır. Yarı iletken üretiminde bu işlem, gofrete iletken, yarı iletken veya yalıtkan olarak işlev görecek ince malzeme katmanları uygulamak için kullanılır. Düşük Basınçlı Kimyasal Buhar Biriktirme veya (LPCVD) daha yaygın olarak kullanılır çünkü daha düzgün bir kalınlık üretir ve istenmeyen reaksiyonları önler. Servo sürücüler, gofret teknesini hazneye yerleştirmek ve çıkarmak, hazne kapısını açmak ve kapatmak ve gofretleri tekneye eklemek veya çıkarmak için kullanılabilir.
Kimyasal Mekanik Planarizasyon (CMP)
Gofret yüzeyini düz bir şekilde parlatmak için kullanılan aşındırıcı bir işlem. Gofret yüzeyini düzleştirmek için kimyasal bulamaçların ve dairesel (zımparalama) bir hareketin kullanılmasını içerir. CMP, gofreti üretim sürecindeki ardışık adımlara hazırlamak için gerekli düz, pürüzsüz yüzeyi oluşturur. CMP, ön uç yarı iletken üretim süreci boyunca birçok kez gereklidir.
Bu işlem, hız dalgalanması olmadan titreşimsiz ve kesin hız ve kuvvet kontrolü gerektirir. AMC servo sürücüleri, tasarımınıza devam edebilmeniz için ayarlamayı hızlı bir şekilde yapmak üzere doğru ayarlama araçlarına ve kontrol algoritmalarına sahiptir.
Step
Fotolitografi sırasında, lazer ışığı bir veya daha fazla kalıbın görüntüsünü içeren retikülden geçirilir. Görüntü daha sonra yonga plakası üzerine yansıtılır. Gofretin tamamı aynı anda işlenmediğinden, bir sonraki kalıbın görüntüyü alabilmesi için gofretin hareket ettirilmesi gerekir. Tüm bunları yapmak için kullanılan makineye "stepper" denir, çünkü bir seferde bir veya birkaç kalıp yapar, ardından tüm gofreti ortaya çıkarana kadar bir sonraki kalıba veya kalıp setine geçer.
